DFC5000 Series Mass Flow Controller Readout Unit

[Features]

DFC5000(Power supp;y & RAEADOUT UNIT)는 기본적으로 MFC(Mass Flow Controller)에 안정적인 전원을 공급하고 설정값과 현재 유량값을 Display하며 MFC를 정확하게 제어하는 장치이다.

공급하는 전원은 15VDC(50w-4Channel 기준)이고 각각의 Channel이 독립된 전원으로 운영된다.
이것을 서로 다른 용량의 MFC가 연동될때 발생되는 전압 불균형 현상을 감소시키고 외부 전원의 간섭을 최소화 하는데 큰 도움이 된다.

고정밀 A/DD, D/A Converter를 내장하였고 주어진 설정값과 측정된 유량값을 4Digit-7Segment로 Display하여 판독이 용이하다.
또한, 기기보정(Calibration)시 기존에 사용하던 가변저항을 없애고 Digital갓으로 저장하여 외부의 온도변화에 민감하지 않고 동장의 재현성(Repeatabillty)과 재생산성(Reproduction)을 갖는다.
특히, 안전기능으로 전원 Switch를 뒷면(REAL Panel)에 두었고 별도의 Safety 기능을 추가하였다.

이 모든것이 Micro Processor로 Program화 되어 다양한 기능과 Option으로 사용되는 다각적인 Processor로 접근이 가능하고 범용적인 사용이 가능하다.